光電車間高潔凈凈化廠房施工與驗收測試

1、工程概況

該工程為地下一層、地上十二層，其中第2-5層是大廈的核心，主要用作光電產品的研制、生產、檢測等，潔凈度等級分為一百級、一萬級、十萬級，防靜電地板的電阻值104-106Ω。潔凈區樓層高4．8m，內墻為50mm 厚巖棉彩鋼板隔斷，吊頂為50mm厚巖棉彩鋼板吊頂，門為鋁框彩鋼板門，鋁合金觀察窗，凈化區地面有防靜電PVC板地面、環氧自流坪、環氧樹脂玻璃鋼防腐地面等。

2、潔凈廠房的施工

2.1地坪施工

（1）水泥砂漿找平層

①平整度：本工程設計采用結構面上鋪30mm厚1：2水泥砂漿找平。為保證下道工序的施工質量，我們還提出了地面平整度每2m2 以內誤差不大于+2mm 的要求。

②含水率：地板在施工前，要保證地面充分干燥，含水率要低于8％；對于經常有潮氣滲出的地面，需做防水處理。

③地面強度：地面不允許有空鼓、起砂及裂縫現象，強度等級不少于M15。

④清潔度：地面無塵、油垢、酸堿等影響膠水粘性的雜質。

（2）防靜電PVC貼面地板的施工

①施工用料

地板：采用防靜電半硬質聚氯乙稀塊狀塑料地板，規格為600mmx600mm，厚2.5mm。

粘結劑：采用氯丁橡膠粘結劑。

導電膠：采用氯丁橡膠粘結劑與導電材料配置。

銅箔：厚度0.05～0.1 mm，寬度20~30mm。

②施工方法

清理地面并畫出中心十字線，十字線要求垂直等分。在地面上按規定的尺寸粘貼銅箔條形成網狀，粘貼時，先按測定位置均勻涂上一層粘結劑，寬度35mm，待不粘手后，粘上銅箔條，交叉處用導電膠粘結，以保證銅箔條間導通。粘貼好的銅箔網絡中至少有4點與接地線接通，相鄰銅箔條間的阻值小于105Ω。

③鋪設地板

先在地面和地板背面均勻的涂上一層氯丁橡膠粘結劑，待粘結劑手感似粘非粘時開始鋪設地板；鋪設時從中心位置開始逐塊向四周展開，邊貼邊用橡皮錘頭敲打，并在銅箔條上涂上少許導電膠以保證每一塊地板的背面至少有一點有導電膠與銅箔相粘結。施工過程中，要經常檢查測試地板表面與銅箔條間的電阻，保證導通。

（3）自流坪施工。主要用于清洗間，在基層處理到位的基礎上，將自流坪粉料倒人常溫清水，同時進行攪拌，形成流態、均勻的混合物；然后將該混合物倒人施工區域，并均勻涂至所要求的厚度即可。

2.2巖棉壁板及吊頂安裝

本工程吊頂及隔斷采用50mm厚巖棉彩鋼板。潔凈室的安裝，須在粗裝飾工程完成后的室內進行，所有外窗均為中空玻璃固定窗，天棚以上墻梁板柱均批膩子刷白。室內空間必須清潔、無積塵，并在施工安裝過程中對零部件和場地隨身清掃、擦凈。

（1）構配件和材料的開箱啟封應在清潔環境中進行，嚴格檢查其規格性能和完好度；不合格或已損壞的構配件嚴禁安裝。

（2）壁板安裝前嚴格放線，墻角垂直交接，防止累計誤差造成壁板傾斜扭曲；壁板的垂直度偏差不大于0.2％。

（3）施工安裝前，先進行吊掛、錨固件等與主體結構和樓面、地面的連接件的固定。

（4）為了承受在凈壓差及設備啟動時的壓力變化，控制吊頂板的起伏變形和開裂，施工時在吊頂中部增焊了縱橫方向的 12加強筋，增強骨架的整體性；同時吊頂按房間寬度方向起拱，使吊頂在受荷載后的使用過程中保持平整。

（5）安裝過程中不要撕下壁板表面的塑料保護膜，以防止撞擊和踩踏板面。

（6）所有門窗線盒洞口安裝壁板前開好洞口，所有管線也事先在夾板巖棉中穿好。

（7）天棚與墻面、墻面與地坪交叉陰角處均有定型連接件連接，并嚴格按要求做法完成密封。

2.3鋁框彩鋼門、鋁合金固定窗、鋁合金風口及型材的安裝

（1）鋁合金采用平開式安裝，門框四周鑲有密封條，門框簡潔易清洗。

（2）鋁合金固定窗采用圓弧過渡形式，起到不積塵的作用。型材緊貼彩鋼板，易清洗；玻璃表面無花斑、無氣孔、透明度好。

（3）鋁合金風口按設計尺寸規格定做而成，表面平整無毛刺，調節靈活；安裝時與彩鋼板緊貼，易清洗。

（4）鋁合金型材采用槽鋁圓弧一體形式，整體性好，強度高。

（5）在不同潔凈等級區域的通道處，安裝不銹鋼質密封防火門與空氣吹淋裝置。

（6）燈具、風口、功能接頭、觀察窗等各種孔洞的周邊、不同材料的交接處，均嚴格按要求作法完成密封和防裂措施，保證整個潔凈室的氣密性。

2.4高效過濾器的安裝

（1）高效過濾器安裝前，必須對潔凈室進行**清掃、擦凈，凈化空調系統內部如有積塵，應再次清掃、擦凈，達到清潔要求。

（2）潔凈室及空調凈化系統達到清潔要求后，凈化空調系統必須試運轉。連續運轉12h以上，再次清掃、擦凈潔凈室后立即安裝高效過濾器。

（3）高效過濾器的運輸和存放按照生產廠標志的方向擱置。運輸過程中注意輕拿輕放，防止劇烈震動和碰撞。

（4）高效過濾器安裝前，必須在安裝現場拆開包裝進行外觀檢查，內容包括濾紙、密封膠和框架有無損壞，邊長、對角線和厚度尺寸是否符合要求，框架有無銹斑，有無產品合格證，技術性能是否符合設計要求，然后進行檢漏。

（5）安裝高效過濾器的框架要平整。每個高效過濾器的安裝框架平整度允許偏差不大于lmm。

（6）高效過濾器和框架之間的密封采用密封墊和液槽密封或雙環密封，要求把填料表面、過濾器邊框表面和框架表面及液槽擦拭干凈。

（7）采用密封墊時，墊的厚度不宜超過8mm，壓縮率為25％-30％；采用液槽密封時，液槽內的液面高度要符合設計要求，框架各接縫處不得有滲漏現象。

（8）安裝高效過濾器時，外框上箭頭應和氣流方向一致。

（9）高效送風口在結構樓板與彩鋼板吊頂之間采用花籃螺絲連接，以便調節；使送風口邊框與彩鋼板之間緊密，以減輕彩鋼板頂棚負荷。

3、系統綜合驗收

（1）驗收條件：驗收應在對各分部工程做外觀檢查，單機運轉、系統聯合試運轉，空態或靜態條件下的潔凈室性能檢測和調整以及對有關的施工檢查記錄審查合格后進行。

（2）潔凈室各分部工程的外觀檢查應符合下列要求：

①高效空氣過濾器與風管連接及風管與設備的連接處應有可靠密封；

②凈化空調器、凈壓箱、回風口無灰塵；

③潔凈室的內墻面、吊頂表面和地面，應光滑平整、色澤均勻、不起灰塵，地板無靜電現象；

④送回風口及各類末端裝置、各類管道、照明及動力線配管以及工藝設備穿越潔凈室時，穿越處的密封處理應可靠嚴密。

（3）驗收的檢測結果應全部符合設計要求，其檢測項目應包括下列內容：

①通風機的風量及轉速的檢測；

②風量的測定和平衡；

③室內凈壓的檢測調整；

④自動調節系統聯動運轉；

⑤高效空氣過濾器的檢漏（檢測）；

⑥室內潔凈度級別（檢測）。

4、測試

4.1技術指標

（1）潔凈度

一百級：≥0.5μm的塵埃顆粒數≤35顆／L；≥5 μm 的塵埃顆粒數≤0.0顆／L。

一萬級：≥0.5μm的塵埃顆粒數≤350顆／L；≥5 μm 的塵埃顆粒數≤2.5顆／L。

十萬級：≥0.5μm的塵埃顆粒數≤3500顆／L：≥5 μm的塵埃顆粒數≤25顆／L。

采用Y09-6塵埃粒子計數器檢測。

（2）室內噪聲

≤65dB(A)單向流，采用ND-12聲級器檢測；

≤60dB(A)非單向流，采用ND-12聲級器檢測。

（3）室內壓差

≥5～10Pa，采用YYT一200B斜管壓差計檢測。

（4）室內溫度

按設計要求為22℃±2℃。

（5）室內濕度

按設計要求為50％±5％。

4.2測試方法

（1）高效過濾器檢漏一粒子計數器法(采用Y09-6塵埃粒子計數器)

①被檢測高效過濾器必須已測過風量，在設計風速的80％-120％之間運行；

②在被檢測高效過濾器上風測定大氣塵的微粒數，以大于或等于0.5 m微粒為準其濃度必須大于或等于3.5x10 粒／L；

③檢漏時采樣口放在距離被檢測過濾器表面2-3cm處，以5-20mm／s的速度移動，對被檢測過濾器整個表面、封頭膠和安裝框架進行掃描。

（2）靜壓差測定(采用YYT-200B斜管壓差計)

①靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行，并應從平面上里面的房間依次向外測定；

②對于潔凈度高于100級的單向流(層流)潔凈室，還應測定在門開啟狀態下，離門口0．6m處的室內側工作面高度的粒子數。

（3）室內潔凈度的測定(采用Y09-6塵埃粒子計數器)

①測定潔凈度的低限采樣點數的按照規定；

②測點的分布。多于5點時可分層布置，但每層不少于5點；5點或5點以下時，可布置在離地0．8m高平面的對角線上或該平面上的兩個過濾器之間的地點。

（4）室內噪聲的測定(采用ND-12聲級計)

①測噪聲儀器為帶倍頻程分析儀的聲級計。一般只測4聲級的數值；

②測點位置：面積<15m。室中心1點，測點高度距地面1.1m。