潔凈車間的靜電防護問題     上海

所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正（+)負（一）電荷等量的均勻的電中性狀態，而使電荷過剩，物體呈帶電狀態，由于這些電荷平時是不流動的，故稱靜電。

在潔凈車間內靜電導致的事故有以下幾方面：

1、靜電引起的靜電電擊，引起人的不安全和恐懼感，并可造成二次傷害（例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷）；

2、靜電放電引起的放電電流，可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作，例如將50塊P-MOS電路放在塑料袋內，搖晃數次后，與非門柵極嚴重擊穿者計39塊，失效率競達78%，這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏；

3、靜電放電產生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動作；

4、靜電放電的發光可導致照相膠片等感光破壞；

5、靜電的力學現象可導致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線紛亂，印刷品深淺不均和制品污染。

靜電事故的產生主要在于靜電的產生和積累，而氣流的流動，氣流和管道、風口、過濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所以這些都可能產生靜電，在一般情況下，越是電導率小的非導體（絕緣體），由于電荷產生后不易流動，因此表現為越容易帶電。

靜電問題所以在潔凈車間中特別嚴重，是因為不但在潔凈車間中具備前述產生靜電的多種工藝因素，而且因為潔凈車間中的許多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都容易產生靜電和集聚靜電，在潔凈車間的靜電災害未被重視以前。